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【48812】智立方获得一种用于晶圆载台顶升晶圆的设备专利可安稳完成的顶升和下降

来源:贝博app体育下载安装

产品时间:2024-04-16 08:43:55

简要描述:

金融界2024年1月29日音讯,据国家知识产权局公告,深圳市智立方自动化设备股份有限公司获得一项...

详细介绍

  金融界2024年1月29日音讯,据国家知识产权局公告,深圳市智立方自动化设备股份有限公司获得一项名为“一种用于晶圆载台顶升晶圆的设备“,授权公告号CN220389354U,请求日期为2023年7月。

  专利摘要显现,本实用新型触及晶圆检测辅佐技术领域,详细为一种用于晶圆载台顶升晶圆的设备,包含设备台,所述设备台的顶部设置有中空电机,所述设备台的一侧设置有电机设备板,升降电机经过螺栓设备在所述电机设备板上,所述升降电机的驱动端设置有动力块,L型块经过衔接板设置于动力块上,所述L型块的一端设置有衔接立柱。该用于晶圆载台顶升晶圆的设备,可配套晶圆载台运用,能够安稳完成晶圆的顶升和下降,满意自动化取放晶圆的条件,并且不损坏晶圆产品,不要添加额定的辅佐组织进行取放料,提高了取放料功率,一起该设备结构相对比较简单,本钱较低,体积较小,添加晶圆设备的空间使用功率,可适用于大多数的晶圆设备。

 


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